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最小缺陷檢出(μm)

CCD

FOV (mm)

WPH

2"

4"
2

4096

 2 40 16
5

4096

 4

120

 50
 
 
 
 
   
 
 

最小缺陷檢出(μm)

CCD

FOV (mm)

WPH

2"

4"
15

8192

 40 200 80